Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"slurry injection system"'
In this study, slurry availability and the extent of the slurry mixing (i.e., among fresh slurry, spent slurry, and residual rinse-water) were varied via three different injection schemes. An ultraviolet enhanced fluorescence technique was employed t
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/10150/625063
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/625063
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/625063
Publikováno v:
Micromachines, Vol 8, Iss 6, p 170 (2017)
In this study, slurry availability and the extent of the slurry mixing (i.e., among fresh slurry, spent slurry, and residual rinse-water) were varied via three different injection schemes. An ultraviolet enhanced fluorescence technique was employed t
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/352858adb20643af9756e946340a58b5
Autor:
Wu, Changhong
This dissertation presents a series of studies related to the study and control of slurry flow, process temperature, and aggressive diamonds in Chemical Mechanical Planarization (CMP). The purpose of these studies is to better understand the fundamen
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/10150/556601
Publikováno v:
Micromachines; Volume 8; Issue 6; Pages: 170
Micromachines, Vol 8, Iss 6, p 170 (2017)
Micromachines
Micromachines, Vol 8, Iss 6, p 170 (2017)
Micromachines
In this study, slurry availability and the extent of the slurry mixing (i.e., among fresh slurry, spent slurry, and residual rinse-water) were varied via three different injection schemes. An ultraviolet enhanced fluorescence technique was employed t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::14d7dc7cd4cfb4a91686634a809a3606
https://doi.org/10.3390/mi8060170
https://doi.org/10.3390/mi8060170
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.