Zobrazeno 1 - 10
of 561
pro vyhledávání: '"silicon chlorides"'
Publikováno v:
In Applied Surface Science 28 February 2018 432 Part B:127-131
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Applied Surface Science. 432:127-131
The reaction of precursor with surface active site is the critical step in atomic layer deposition (ALD) process. We performed the density functional theory calculation with DFT-D correction to study the surface reaction of different silicon chloride
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7d18bc71451b1698af2147a2a5ba70e8
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.060
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.060
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Jae-Min Park, Yong-Ho Noh, Young-Kyun Kwon, Sun-Jae Kim, Luchana L. Yusup, Sora Park, Won-Jun Lee
Publikováno v:
RSC Advances. 6:68515-68524
We studied the reactivity of different surface sites of β-Si3N4 with silicon chlorides during the first half reaction of an atomic layer deposition (ALD) process using ab initio density functional theory calculations to understand the underlying rea
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5562ceae8c093fb0df7d8bdb45123363
https://doi.org/10.1039/c6ra10909h
https://doi.org/10.1039/c6ra10909h
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Roman Kornev, Igor Gornushkin, Lubov Shabarova, Alena Kadomtseva, Georgy Mochalov, Nikita Rekunov, Sergey Romanov, Vitaly Medov, Darya Belousova, Nikita Maleev
Publikováno v:
Sci, Vol 6, Iss 1, p 1 (2023)
The processes of hydrogen reduction of silicon and germanium chlorides under the conditions of high-frequency (40.68 MHz) counteracted arc discharge stabilized between two rod electrodes are investigated. The main gas-phase and solid products of plas
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/c29f9a3fd94643a1916f0d4ced89d3c3