Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"sensors for high temperature"'
Publikováno v:
Sensors, Vol 15, Iss 8, Pp 20305-20315 (2015)
In this paper we present and discuss two innovative liquid-free SOI sensors for pressure measurements in harsh environments. The sensors are capable of measuring pressures at high temperatures. In both concepts media separation is realized using a st
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/949f8eafcdca4dd5800c450f053f2811
Autor:
Ha-Duong Ngo, Biswajit Mukhopadhyay, Piotr Mackowiak, Kevin Kröhnert, Oswin Ehrmann, Klaus-Dieter Lang
Publikováno v:
Micromachines, Vol 7, Iss 10, p 193 (2016)
In this paper, we present and discuss our new WSi–WSiN–Pt metallization scheme for SiC-based microsystems for applications in harsh environments. Stoichiometric material WSi was selected as contact material for SiC. The diffusion barrier material
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/d536392349144da5af29876b0fc09a7a
Publikováno v:
Sensors
Volume 15
Issue 8
Pages 20305-20315
Sensors, Vol 15, Iss 8, Pp 20305-20315 (2015)
Sensors (Basel, Switzerland)
Volume 15
Issue 8
Pages 20305-20315
Sensors, Vol 15, Iss 8, Pp 20305-20315 (2015)
Sensors (Basel, Switzerland)
In this paper we present and discuss two innovative liquid-free SOI sensors for pressure measurements in harsh environments. The sensors are capable of measuring pressures at high temperatures. In both concepts media separation is realized using a st
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::7e2b874e5d1a231aa752cf7386dc742a
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.