Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"sealed cavity structure"'
Publikováno v:
Sensors, Vol 21, Iss 2, p 379 (2021)
The hermeticity performance of the cavity structure has an impact on the long-term stability of absolute pressure sensors for high temperature applications. In this paper, a bare silicon carbide (SiC) wafer was bonded to a patterned SiC substrate wit
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/196fad1cf91a44148f1cd795d9fe3f46
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.