Zobrazeno 1 - 10
of 317
pro vyhledávání: '"reactive ion etching (RIE)"'
Publikováno v:
Photonics, Vol 11, Iss 8, p 726 (2024)
Reactive ion etching (RIE) with fluorocarbon plasma is a facile method to tracelessly remove the subsurface damage layer of fused silica but has the drawback of unsatisfactory improvement in laser damage resistance due to the induction of secondary d
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/ef80baefd7784d019b58f7635c7aae60
Autor:
Nguyen Hoang Tung, Heesoo Lee, Duy Khoe Dinh, Dae-Woong Kim, Jin Young Lee, Geon Woong Eom, Hyeong-U Kim, Woo Seok Kang
Publikováno v:
Sensors, Vol 24, Iss 10, p 3089 (2024)
Highly selective etching of silicon nitride (Si3N4) and silicon dioxide (SiO2) has received considerable attention from the semiconductor community owing to its precise patterning and cost efficiency. We investigated the etching selectivity of Si3N4
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/43ee93a8c8a54e7589ee55bb3ef84d04
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 16, Iss , Pp 100155- (2022)
Recently, it has been demonstrated that Silicon Carbide (SiC) membranes can be used in quantum sensing and MEMS applications. One of the important steps for the production of such membranes is the removal of the substrate material in order to form me
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/052712182fd743fd8cc04a9da5843a71
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.