Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"quasi-static scan"'
Autor:
Jeong-Yeon Hwang, Lena Wysocki, Erdem Yarar, Gunnar Wille, Fin Röhr, Jörg Albers, Shanshan Gu-Stoppel
Publikováno v:
Micromachines, Vol 14, Iss 9, p 1789 (2023)
In this paper, the newly developed 3D-constructed AlScN piezoelectric MEMS mirror is presented. This paper describes the structure and driving mechanism of the proposed mirror device, covering its driving characteristics in both quasi-static and reso
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/ebe05b5ad8dc4ded80e23769c6903839
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.