Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"pzt etching"'
Autor:
M. Kathiresan, Jain Jose, E. Varadarajan, R. Ramesh, V. Natarajan, M. K. Jayaraj, T. Santhanakrishnan
Publikováno v:
Journal of Advanced Dielectrics, Vol 10, Iss 4, Pp 2050010-1-2050010-7 (2020)
Doped lead–zirconate–titanate (PZT) thin films are preferred for the development of micro–electro–mechanical systems (MEMS)-based acoustic sensors because of their inherent higher dielectric and piezoelectric coefficients. Patterning process
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/b23ced9b5f174bf1bfbcf9d92ca2ec6e
Autor:
Jain Jose, M. K. Jayaraj, V. Natarajan, T. Santhanakrishnan, M. Kathiresan, R. Ramesh, E. Varadarajan
Publikováno v:
Journal of Advanced Dielectrics, Vol 10, Iss 4, Pp 2050010-1-2050010-7 (2020)
Doped lead–zirconate–titanate (PZT) thin films are preferred for the development of micro–electro–mechanical systems (MEMS)-based acoustic sensors because of their inherent higher dielectric and piezoelectric coefficients. Patterning process
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4620bf10a1f23837dd9079a33b11e996
https://doi.org/10.1142/s2010135x20500101
https://doi.org/10.1142/s2010135x20500101
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.