Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"polysilicon tensile strength"'
Autor:
Tiago Vicentini Ferreira do Valle, Aldo Ghisi, Stefano Mariani, Gabriele Gattere, Francesco Rizzini, Luca Guerinoni, Luca Falorni
Publikováno v:
Engineering Proceedings, Vol 27, Iss 1, p 10 (2022)
Microelectromechanical systems (MEMS) are nowadays widespread in the sensor market, with several different applications. New production techniques and ever smaller device geometries require a continuous investigation of potential failure mechanisms i
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/9a13ad4767ba4c0d860b09eb100179bc
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.