Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"plazmochemická depozice z plyné fáze (PECVD)"'
Autor:
Sadílek, Jakub
Tato studie je zaměřena na základní výzkum přípravy a-SiC:H a a-SiCO:H slitin plazmových polymerů pomocí metody plazmochemické depozice z plynné fáze (PE-CVD). Tyto slitiny byly připravovány depozicí z monomeru tetravinylsilanu (TVS)
Externí odkaz:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-216936
