Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"plasma resistant glass"'
Publikováno v:
Materials, Vol 16, Iss 14, p 5112 (2023)
To develop plasma-resistant glass materials suitable for semiconductor etching processes, we introduced alkaline earth oxides (ROs) into a Li2O–Al2O3–SiO2 (LAS) glass. Analysis of glass properties with respect to the additives revealed that among
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/4520f6e799664cc28ed7e3b847a32b7d
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.