Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"plasma ion composition measurement"'
Publikováno v:
Plasma, Vol 4, Iss 2, Pp 222-229 (2021)
We have designed, fabricated and characterized an ion source based on a vacuum magnetron discharge. The magnetron discharge is initiated by a vacuum arc discharge, the plasma of which flows onto the magnetron sputtering target working surface. The va
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/ac6b465f7a5c4ce7a74d557b96fbefc7
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.