Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"p-value control chart"'
In this article, we investigate the occurrence of defects in integrated circuit fabrication and show how spatial analysis can be effective in grasping and representing spatial regularities in defect patterns on the silicon supports, called wafers, us
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3281cb506a34611f0be940aee7d0013b
https://hdl.handle.net/10807/173513
https://hdl.handle.net/10807/173513
The aim of this work is to investigate the spatial structure of defectivity in integrated circuits fabrication. A prompt detection of an excess of defects and their spatial structure is critical for the entire fabrication process in order to limit yi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1299::e2e7980a7f5622d214b52bf93da524ca
http://hdl.handle.net/10281/263067
http://hdl.handle.net/10281/263067
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.