Zobrazeno 1 - 10
of 437
pro vyhledávání: '"nanostencil lithography"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Sacchetto, Davide, Xie, Shenqi, Savu, Veronica, Zervas, Michael, De Micheli, Giovanni, Brugger, Jürgen, Leblebici, Yusuf
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering October 2012 98:355-358
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
van den Boogaart, Marc A.F., Lishchynska, Maryna, Doeswijk, Lianne M., Greer, James C., Brugger, Jürgen
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2006 130:568-574
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Hualiang Zhang, Seoyoung Joo, Sensong An, Helena Jiang, Duanhui Li, Tian Gu, Juejun Hu, Anuradha M. Agarwal, Lan Li, Peter Su, Mikhail Y. Shalaginov, Lionel C. Kimerling
Publikováno v:
Optics letters. 46(10)
We demonstrate a large-area fabrication process for optical metasurfaces utilizing reusable SiN on Si nanostencils. To improve the yield of the nanostencil fabrication, we partially etch the front-side SiN layer to transfer the metasurface pattern fr
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f6bd00193a78550fa31c322a83c62f47
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33988574
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/33988574
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.