Zobrazeno 1 - 10
of 27
pro vyhledávání: '"nanoscale measurements"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Measurement Science Review, Vol 14, Iss 1, Pp 25-28 (2014)
We demonstrate the interferometer-based approach for nanoscale grating Critical Dimension (CD) measurements and prove the possibility to achieve no worse than 10 nm accuracy of measurements for 100 nm pitch gratings. The approach is based on phase sh
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/2d0fd057233a40f091243d75611e150e
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Measurement Science Review, Vol 14, Iss 1, Pp 25-28 (2014)
In the given work we demonstrate an optical method of measurement of the periodical grating CD value. The proposed method, similar to OCD, does not assume grating imaging or grating relief reconstruction with nanoscale resolution but, unlike OCD, ana
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::51fe014cc84cb8818966da312a3c6edc
https://doi.org/10.2478/msr-2014-0004
https://doi.org/10.2478/msr-2014-0004
Autor:
Targosz-Korecka, Marta, Szymoński, Marek, Miklaszewska, Monika, Pietrzyk, Jacek, Sułowicz, Władysław, Rumian, Roman, Krawentek, Lidia
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3647::dfa4b7f7a98e95461bf7f9ed774eed14
https://ruj.uj.edu.pl/xmlui/handle/item/272792
https://ruj.uj.edu.pl/xmlui/handle/item/272792
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.