Etude de l'influence de l'épaisseur de la région n pour l'optimisation de la tenue en tension des structures p-n-n+

Autor: J.P. Chante, V. Boisson, M. Le Helley

Publikováno v: Revue de Physique Appliquée
Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1987, 22 (7), pp.473-476. ⟨10.1051/rphysap:01987002207047300⟩

Dans cet article, nous présentons l'influence de l'épaisseur de la région n, pour l'optimisation de la tenue en tension des structures planar avec un anneau de champ et en limitation de zone de charge d'espace. Les résultats ont été obtenus par

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