Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"mirror plate position sensing"'
Publikováno v:
Micromachines, Vol 15, Iss 8, p 1017 (2024)
This paper presents the design, simulation, fabrication, and characterization of a novel large-scan-range electrothermal micromirror integrated with a pair of position sensors. Note that the micromirror and the sensors can be manufactured within a si
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/18bff5e12a95496fa0b86914fdafd10b
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.