Zobrazeno 1 - 10
of 29
pro vyhledávání: '"microelectromechanical resonators"'
Publikováno v:
Advanced Materials Interfaces, Vol 10, Iss 32, Pp n/a-n/a (2023)
Abstract Microelectromechanical systems (MEMS) resonators use is widespread, from electronic filters and oscillators to physical sensors such as accelerometers and gyroscopes. These devices' ubiquity, small size, and low power consumption make them i
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/277298a0f0b64f1fac20622cd9a7e28f
Autor:
David D. Lynes, Hengky Chandrahalim
Publikováno v:
Advanced Materials Interfaces, Vol 10, Iss 9, Pp n/a-n/a (2023)
Abstract Piezoelectric microelectromechanical systems (MEMS) are used as sensors, actuators, energy harvesters, accelerometers, and communication modules. Aluminum nitride (AlN) is an especially attractive piezoelectric material because its fabricati
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/bc8041b0b02241a5bb445906164ad593
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies. The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components are considered. Results of the experimental characterizatio
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b567a1065babe46322af7424f42f6be2
https://openrepository.ru/article?id=765334
https://openrepository.ru/article?id=765334
Publikováno v:
Kaajakari, V, Mattila, T, Lipsanen, A & Oja, A 2005, ' Nonlinear mechanical effects in silicon longitudinal mode beam resonators ', Sensors and Actuators A: Physical, vol. 120, no. 1, pp. 64-70 . https://doi.org/10.1016/j.sna.2004.11.010
The fundamental nonlinear mechanical effects in micromachined single-crystal silicon resonators are investigated. Longitudinal mode beam resonators are chosen for the analysis due to their simple geometry and high quality factor ( Q > 100 000 ). Anal
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::29d1538712f0d0c82de556f78ff3f861
https://doi.org/10.1016/j.sna.2004.11.010
https://doi.org/10.1016/j.sna.2004.11.010
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.