Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"kapilarni izboj"'
Autor:
Domazet, Petar
U brzorastućoj elektroničkoj industriji fotolitografski postupci su dosegli svoju granicu. Traže se nove tehnologije koje mogu zadovoljiti zahtjeve za sve manjim integriranim sklopovima. EUVL postavlja novu granicu na veličinu elemenata – 13, 5
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=57a035e5b1ae::125a24079a53d7d465f181280f1de16b
https://www.bib.irb.hr/643053
https://www.bib.irb.hr/643053
Kapilarni izboj kao pulsni izboj se može upotrijebiti kao izvor ekstremno ultraljubičastog (EUV) zračenja u novoj generaciji litografske tehnologije, u ekstremno ultraljubičastoj litografiji (EUVL). Stoga je značajno istraživanje svojstava i mo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=57a035e5b1ae::3b1d20796d117edf6ba031f103b19fbb
https://www.bib.irb.hr/210396
https://www.bib.irb.hr/210396
Ablativni kapilarni izboj kroz PVC kapilare je snažan izvor nekoherentnog EUV zračenja na 13, 5 nm. Prednosti ovakvog izvora su jednostavnost i kompaktnost pri čemu se postiže svjetlina izvora usporediva s mnogo složenijim uređajima. Po prvi pu
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::0b6f245048c6b52331d0d77ca7ce238d
https://www.bib.irb.hr/152251
https://www.bib.irb.hr/152251
Prikazani su prvi rezultati sustavnog proučavanja ablativnog kapilarnog izvora na bazi PVC kapilara kao izvora pojasnog EUV zračenja. Pokazuje se da se promjenom vrste PVC-a od kojeg je kapilara izrađena i radnih parametara izboja može dobiti vrl
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=57a035e5b1ae::2937e25d2be548f8d6a3abb2970f8110
https://www.bib.irb.hr/124248
https://www.bib.irb.hr/124248