Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"impédance du plasma"'
Autor:
Dine, Sébastien
A l'aide d'un modèle électrique précis du réacteur plasma, la mesure avec une méthode vectorielle de l'impédance RF à l entrée du réacteur a permis, après correction de la perturbation des impédances parasites, de calculer l impédance du
Externí odkaz:
http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00305866
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/30/58/66/PDF/These-DINE.pdf
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/30/58/66/PDF/These-DINE.pdf
Autor:
Dine, Sébastien
Publikováno v:
Physique [physics]. Université Paris Sud-Paris XI, 2006. Français
Using an electrical model of the plasma reactor, the measurement of the reactor input RF impedance allowed after correcting the effect of stray impedance to derive the impedance of the plasma in a large frequency range (13,56-100 MHz) and pressure ra
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::9682d90fa996755899cc7e499dac7f8c
https://theses.hal.science/tel-00305866
https://theses.hal.science/tel-00305866