Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"high aspect ratio nano-/microstructures"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Crystals; Volume 13; Issue 6; Pages: 863
The control and prediction of morphological changes in annealed void microstructures is an essential and powerful tool for different semiconductor applications, for example, as part of the production of pressure sensors, resonators, or other silicon
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::e31d6b7f039ffb18385cce0b86260860
https://doi.org/10.3390/cryst13060863
https://doi.org/10.3390/cryst13060863
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.