Zobrazeno 1 - 10
of 25
pro vyhledávání: '"glass reflow process"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micromachines, Vol 7, Iss 5, p 76 (2016)
This paper presents a process for the fabrication of vacuum-sealed capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays using glass reflow and anodic bonding techniques. Silicon through-wafer interconnects have been investigated by the glass
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/260200344cc24ac9a16f1f259fbd63d9
Publikováno v:
Micromachines, Vol 7, Iss 3, p 51 (2016)
This paper presents processes for glass micromachining, including sandblast, wet etching, reactive ion etching (RIE), and glass reflow techniques. The advantages as well as disadvantages of each method are presented and discussed in light of the expe
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/f42d89bc4c8e42439a532fc3ad79262b
Publikováno v:
Micromachines, Vol 7, Iss 5, p 76 (2016)
Micromachines
Micromachines; Volume 7; Issue 5; Pages: 76
Micromachines
Micromachines; Volume 7; Issue 5; Pages: 76
This paper presents a process for the fabrication of vacuum-sealed capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays using glass reflow and anodic bonding techniques. Silicon through-wafer interconnects have been investigated by the glass
Publikováno v:
Micromachines
Micromachines, Vol 7, Iss 3, p 51 (2016)
Micromachines; Volume 7; Issue 3; Pages: 51
Micromachines, Vol 7, Iss 3, p 51 (2016)
Micromachines; Volume 7; Issue 3; Pages: 51
This paper presents processes for glass micromachining, including sandblast, wet etching, reactive ion etching (RIE), and glass reflow techniques. The advantages as well as disadvantages of each method are presented and discussed in light of the expe
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.