Películas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD

Autor: Barbadillo, L., Hernández, M. J., Cervera, M., Piqueras, J.

Publikováno v: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, Vol 39, Iss 4, Pp 453-457 (2000)

ECR-PECVD processes with several activators and diluent gases were performed to obtain films with carbon and nitrogen at low temperatures. In all cases methane and nitrogen were used as precursors of C and N species. The characterization of the sampl

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Caracterización superficial de películas de óxidos de Co y Co-Fe

Autor: E. Barrera-Calva, J. C. Martínez-Flores, A. Avila-García, S. Rodil, L. Huerta-Arcos, T. Viveros-García

Publikováno v: Universidad Autónoma Metropolitana
UAM
Redalyc-UAM
Universidad Nacional Autónoma de México
UNAM
Redalyc-UNAM
Revista Mexicana de Ingeniería Química (México) Num.2 Vol.4

En este trabajo, se presenta la caracterización química y óptica de películas selectivas para usarse en la conversión fototérmica de la energía solar. Las películas de óxido de cobalto y cobalto hierro se prepararon por la técnica de rocío

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