Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"electrostatic drive method"'
Publikováno v:
Micromachines, Vol 13, Iss 11, p 1943 (2022)
This paper presents a simple method for the in situ determination of Young’s moduli of surface-micromachined bilayer thin films. The test structure consists of a cantilever, a bottom drive electrode located near the anchor, and a bottom contact ele
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/62a26081ab7d4d4c8cd0ab35214d545f
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.