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Improving the coverage area and flake size of ReS 2 through machine learning in APCVD.

Autor: Flores Salazar M; Centro de Física Aplicada y Tecnología Avanzada, Universidad Nacional Autónoma de México, A.P. 1-1010, Querétaro, Qro., C.P. 76000, Mexico., Frausto-Avila CM; Centro de Física Aplicada y Tecnología Avanzada, Universidad Nacional Autónoma de México, A.P. 1-1010, Querétaro, Qro., C.P. 76000, Mexico., de Jesús Bautista JA; Centro de Física Aplicada y Tecnología Avanzada, Universidad Nacional Autónoma de México, A.P. 1-1010, Querétaro, Qro., C.P. 76000, Mexico., Polumati G; Department of Electrical and Electronics Engineering, BITS Pilani Hyderabad Campus, Hyderabad 500078, India., Muñiz Martínez BA; Cinvestav Unidad Queretaro, Qro., Queretaro 76230, Mexico., Sekhar Reddy KC; Department of Electrical and Electronics Engineering, BITS Pilani Hyderabad Campus, Hyderabad 500078, India., Hernández-Vázquez MÁ; Centro de Investigación, Innovación y Desarrollo Tecnológico (CIIDETEC-UVM), Universidad del Valle de México, Querétaro 76230, Mexico., Strupiechonski E; Centro de Ingeniería y Desarrollo Industrial, Avenida Pie de la Cuesta #702, Santiago de Querétaro, 76125 Querétaro, Mexico., Sahatiya P; Department of Electrical and Electronics Engineering, BITS Pilani Hyderabad Campus, Hyderabad 500078, India., Quiroz-Juárez MA; Centro de Física Aplicada y Tecnología Avanzada, Universidad Nacional Autónoma de México, A.P. 1-1010, Querétaro, Qro., C.P. 76000, Mexico., De Luna Bugallo A; Centro de Física Aplicada y Tecnología Avanzada, Universidad Nacional Autónoma de México, A.P. 1-1010, Querétaro, Qro., C.P. 76000, Mexico.

Publikováno v: Nanotechnology [Nanotechnology] 2024 Oct 04; Vol. 35 (50). Date of Electronic Publication: 2024 Oct 04.