Zobrazeno 1 - 10
of 559
pro vyhledávání: '"contact hole"'
Publikováno v:
Heliyon, Vol 10, Iss 2, Pp e24016- (2024)
Block copolymer (BCP) self-assembly has tremendous potential applications in next-generation nanolithography. It offers significant advantages, including high resolution and cost-effectiveness, effectively overcoming the limitations associated with c
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/6a9803bd3d004ce08ddf3ead51c24dfc
Autor:
June Huh
Publikováno v:
Polymers, Vol 16, Iss 7, p 881 (2024)
We conducted a computational study on the self-assembly behavior of cylinder-forming block copolymers, directed by a guide pattern of hexagonally or tetragonally arrayed pillars, using mesoscale density functional theory simulations. By adjusting the
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/174fbbfd019b46cf9244820aa48401da
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII.
Background: Decomposing an observed variation in critical dimension (CD) into its sources of variation is an important analysis, but it is often tedious and prone to error. For EUV processes, identifying the magnitude of stochastic variations is espe
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0a19deec4f24a321800e0fbb094e9348
https://doi.org/10.1117/12.2585308
https://doi.org/10.1117/12.2585308
Publikováno v:
International Journal of Metrology and Quality Engineering, Vol 7, Iss 2, p 204 (2016)
Industrial robots arms are widely used in manufacturing industry because of their support for automation. However, in metrology, robots have had limited application due to their insufficient accuracy. Even using error compensation and calibration met
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/29c3d522510c4245be058ff457742b37