Zobrazeno 1 - 10
of 7 125
pro vyhledávání: '"contact hole"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Wu, Zhiyong, Luo, Jiacheng, Li, Luyang, Dong, Qingshu, Zhang, Xiaohui, Li, Zili, Liu, Yadong, Ji, Shengxiang, Li, Weihua, Zhang, Yan, Xiong, Shisheng
Publikováno v:
In iScience 19 April 2024 27(4)
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Sang-Kon Kim
Publikováno v:
Micromachines, Vol 15, Iss 9, p 1151 (2024)
For vertical interconnect access (VIA) in three-dimensional (3D) structure chips, including those with high bandwidth memory (HBM), shrinking contact holes (C/Hs) using the resist flow process (RFP) represents the most promising technology for low-k1
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/cdf4521be77b48d4a57df5cee01ecbe5
Autor:
Zhiyong Wu, Jiacheng Luo, Luyang Li, Qingshu Dong, Xiaohui Zhang, Zili Li, Yadong Liu, Shengxiang Ji, Weihua Li, Yan Zhang, Shisheng Xiong
Publikováno v:
iScience, Vol 27, Iss 4, Pp 109425- (2024)
Summary: Directed self-assembly (DSA) lithography has demonstrated significant potential in fabricating integrated circuits. However, DSA encounters limited processing windows due to the requirement for precise matching between the period of block co
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/418a96d71fe3441aad6e04c2959cd506
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.