Designing Highly Precise Overlay Targets for Asymmetric Sidewall Structures Using Quasi-Periodic Line Widths and Finite-Difference Time-Domain Simulation

Autor: Hung-Chih Hsieh, Meng-Rong Wu, Xiang-Ting Huang

Publikováno v: Sensors, Vol 23, Iss 9, p 4482 (2023)

The present study introduces an optimized overlay target design to minimize the overlay error caused by asymmetric sidewall structures in semiconductor manufacturing. To achieve this goal, the overlay error formula was derived by separating the asymm

Externí odkaz: https://doaj.org/article/3954fd53d31f46e39a43c1ed6d5fa4d6

Reduction of Warping in Kinematic L-Profile Bending Using Local Heating

Autor: Eike Hoffmann, Rickmer Meya, A. Erman Tekkaya

Publikováno v: Metals, Vol 11, Iss 7, p 1146 (2021)

Kinematic bending of profiles allows to manufacture parts with high flexibility concerning the geometry. Still, the production of profiles with asymmetric cross-sections regarding the force application axis using kinematic bending processes offers ch

Externí odkaz: https://doaj.org/article/63e775aa890f4d22b5b593695e6fefc1

ВПЛИВ МАСТИЛА НА ТЕХНІЧНИЙ РІВЕНЬ ВИСОКОШВИДКІСНИХ ПЕРЕДАЧ З СИМЕТРИЧНИМ ПРОФІЛЕМ

Publikováno v: Bulletin of the National technical university "Kharkiv Polytechnic Institute" Series: Techniques in a machine industry; No. 2 (2022): Bulletin of the National Technical University "KhPI". Series: Techniques in a machine industry; 23-30
Вестник Национального технического университета «ХПИ». Серия: Технологии в машиностроении; № 2 (2022): Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Технології в машинобудуванні; 23-30
Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Технологiї в машинобудуваннi; № 2 (2022): Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Технології в машинобудуванні; 23-30

The issues of efficiency improvement in hydrodynamic (liquid) or limit (semi-liquid) modes of friction of gears with an asymmetric profile and the effect of the liquid on tooth damage, power loss and temperature in contact, as well as the role of an

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=scientific_p::6237cba81abbecd7c2294c5034c7b31e
http://tm.khpi.edu.ua/article/view/264912

GEOMETRIC SYNTHESIS OF INVOLUTE PLANETARY GEARS WITH CONNECTED GEAR WHEELS OF TYPE 2K-H

Autor: Tsanko Karadzhov, Genadi Cvetanov

Publikováno v: ENVIRONMENT. TECHNOLOGIES. RESOURCES. Proceedings of the International Scientific and Practical Conference; Vol 3 (2021): Environment. Technology. Resources. Proceedings of the 13th International Scientific and Practical Conference. Volume 3; 49-53

Based on the basic law of flat interlocking, the paper considers a possibility of increasing the gear ratio of low module involute cylindrical planetary gears by using asymmetric tooth profile for the purposes of measuring devices. An example of the

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::eba1438e6e600f073cb9b67284327dd0
https://doi.org/10.17770/etr2021vol3.6643

Influence of lubricant on the technical level of high-speed gearboxes with asymmetrical profile

Розглянуті питання підвищення ефективності при гідродинамічному (рідинному) або граничному (напіврідинному) режимах тертя зубчастих п�

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3033::0ee065f57522c88f7d589dc7b657cd01
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57948