Zobrazeno 1 - 10
of 172
pro vyhledávání: '"anisotropic wet etching"'
Publikováno v:
Micromachines, Vol 15, Iss 4, p 482 (2024)
Piezoelectric micromachined ultrasound transducers (PMUTs) have gained significant popularity in the field of ultrasound ranging and medical imaging owing to their small size, low power consumption, and affordability. The scar-free “MIS” (micro-h
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/9a6c689a33b6499cbf456e73190ed700
Publikováno v:
Journal of Telecommunications and Information Technology, Iss 4 (2023)
The methods of parameter optimization in Etch3DTM simulator and the results of the comparison of simulations of silicon etching in KOH with experiments are presented. The aim of this study was to calibrate the tool to a set of process conditions that
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/658acb09a1584613a5d0abde48947f1b
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micro and Nano Systems Letters, Vol 7, Iss 1, Pp 1-7 (2019)
Abstract In this study, particle focusing phenomena are studied in parallelogram and rectangular cross-sectioned microchannels of varying aspect ratio. In contrast to prior work the microchannels were fabricated using anisotropic wet etching of a Si
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/7828762b2f97492db0277f79e2ed4fce
Autor:
James Byers, Kapil Debnath, Hideo Arimoto, Muhammad K. Husain, Moïse Sotto, Joseph Hillier, Kian Kiang, David J. Thomson, Graham T. Reed, Martin Charlton, Shinichi Saito
Publikováno v:
Frontiers in Physics, Vol 9 (2021)
In this paper we demonstrate that by breaking the left/right symmetry in a bi-planar double-silicon on insulator (SOI) photonic crystal (PhC) fin-waveguide, we can couple the conventionally used transverse-electric (TE) polarized mode to the transver
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/44291f4c1c654614bcedf01afea77c87
Publikováno v:
Micromachines, Vol 13, Iss 7, p 1000 (2022)
Blazed gratings are the critical dispersion elements in spectral analysis instruments, whose performance depends on structural parameters and topography of the grating groove. In this paper, high diffraction efficiency silicon-blazed grating working
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/ec8fadfec9c34a75805ad2c2d6cf6645
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micromachines, Vol 12, Iss 8, p 931 (2021)
We report the fabrication, electromagnetic simulation and measurement of inverted silicon pyramidal arrays with randomly distributed nanoholes that act as an anti-reflectivity coating. The fabrication route combines the advantages of anisotropic wet
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/4cc1578c46ea4d0e9a4db94c85bea1e1
Publikováno v:
Photonics, Vol 6, Iss 1, p 21 (2019)
In this paper, we propose and investigate the modal characteristics of wedge surface plasmon polariton (SPP) waveguides for guiding surface plasmon waves. The wedge SPP waveguides are composed of a silver layer deposited onto the surface of a wedge-s
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/37fdbfe84ba94ec882ac244e818cfe6d