Zobrazeno 1 - 10
of 222
pro vyhledávání: '"Zyryanov, S"'
Autor:
Gubarev, V., Lopayev, D., Zotovich, A., Blauw, M. A., Medvedev, V., Krainov, P., Astakhov, D., Zyryanov, S.
The dynamics of H atom recombination on materials of interest for a EUV lithographer was studied under a longterm low-pressure H2 plasma exposure. The similarity of the experimental plasma with the typical EUV-induced plasma over the multi-layer mirr
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2206.04391
Ion-assisted surface processes are the basis of modern plasma processing. Ion energy distribution (IED) control is critical for precise material modification, especially in atomic-level technologies such as atomic layer etching. Since this control sh
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2012.14882
Autor:
Kazanova, A. M.1 (AUTHOR) kazanova.alex@yandex.ru, Zyryanov, S. K.1,2 (AUTHOR), Chenkurov, M. S.1 (AUTHOR)
Publikováno v:
Pharmaceutical Chemistry Journal. Jan2024, Vol. 57 Issue 10, p1655-1660. 6p.
Autor:
Shibanov, D. R., Lopaev, D. V., Zyryanov, S. M., Zotovich, A. I., Maslakov, K. I., Rakhimov, A. T.
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; 8/14/2023, Vol. 134 Issue 6, p1-15, 15p
Autor:
Starovoitov, N. P., Kozlov, P. V., Tananaev, I. G., Braichun, E. S., Stakanova, N. A., Remizov, M. B., Dudkin, V. A., Kazakov, V. A., Korenev, S. V., Polyakov, E. V., Glushkova, N. V., Kinev, E. A., Zyryanov, S. S., Sarychev, M. N., Vasil'ev, A. V.
Publikováno v:
Radiochemistry; Aug2024, Vol. 66 Issue 4, p542-556, 15p
Autor:
Astakhov, D. I., Goedheer, W. J., Lee, C. J., Ivanov, V. V., Krivtsun, V. M., Zotovich, A. I., Zyryanov, S. M., Lopaev, D. V., Bijkerk, F.
Publikováno v:
Plasma Sources Sci. Technol. 24, 055018 (2015)
Probe theories are only applicable in the regime where the probe's perturbation of the plasma can be neglected. However, it is not always possible to know, a priori, that a particular probe theory can be successfully applied, especially in low densit
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1412.3036
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Biomedical Engineering; Jul2024, Vol. 58 Issue 2, p102-105, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Zotovich, A. I., Zyryanov, S. M., Lopaev, D. V., Rezvanov, A. A., Attallah, A. G., Liedke, M. O., Butterling, M., Bogdanova, M. A., Vishnevskiy, A. S., Seregin, D. S., Vorotyntsev, D. A. V., Palov, A. P., Hirschmann, E., Wagner, A., Naumov, S., Vorotilov, K. A., Rakhimova, T. V., Rakhimov, A. T. R., Baklanov, M.
Publikováno v:
Publication date: 2023-01-11 Open accessDOI: 10.14278/rodare.2075Versions: 10.14278/rodare.2076License: CC-BY-4.0
Modification of spin-on-deposited porous PMO (periodic mesoporous organosilica) ultralow-k (ULK) SiCOH films (k = 2.33) containing both methyl terminal and methylene bridging groups by vacuum ultraviolet (VUV) emission from Xe plasma is studied. The
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4577::3f190b8e1ba4209058266a65e8140d52
https://www.hzdr.de/publications/Publ-36205-1
https://www.hzdr.de/publications/Publ-36205-1