Zobrazeno 1 - 10
of 69
pro vyhledávání: '"Zimmermann, Sven"'
Publikováno v:
8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology 2006 (ICSICT '06), Oct. 23-26, 2006, Shanghai, China. Proceedings, p. 2184-2186
Spectroscopic ellipsometry is emerging as a routine tool for in-situ and ex-situ thin-film characterization in semiconductor manufacturing. For interconnects in ULSI circuits, diffusion barriers of below 10 nm thickness are required and precise thic
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
We apply a measurement-based closed-loop control scheme to the dissipative Lipkin-Meshkov-Glick model. Specifically, we use the Wiseman-Milburn feedback master equation to control its quantum phase transition.For the steady state properties of the Li
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1803.01138
Autor:
Zimmermann, Sven
Die Arbeit beschreibt die Anfertigung eines speziellen SOI-Substrates, bei dem eine strukturierte Kobaltdisilizidschicht zwischen dem vergrabenen Oxid und der Silizium- Bauelementeschicht angeordnet ist. Dieses soll für die gemeinsame Integration bi
Autor:
Schade, Alexander, Melzer, Marcel, Zimmermann, Sven, Schwarz, Thomas, Stoewe, Klaus, Kuhn, Harald
Publikováno v:
ACS Sustainable Chemistry & Engineering; 8/19/2024, Vol. 212 Issue 33, p12270-12288, 19p
Publikováno v:
Oral contributed presentation; 4th Workshop Ellipsometry, 20-22 February 2006, Berlin, Germany
Tantalum and tantalum nitride thin films are routinely applied as diffusion barriers in state-of-the-art metallization systems of microelectronic devices. In this work, such films were prepared by reactive magnetron sputtering on silicon and oxidized
Autor:
Helke, Christian, Seiler, Jan, Meinig, Marco, Großmann, Toni Dirk, Bonitz, Jens, Haase, Micha, Zimmermann, Sven, Ebermann, Martin, Kurth, Steffen, Reuter, Danny, Hiller, Karla
Publikováno v:
IEEJ Transactions on Electrical & Electronic Engineering; May2024, Vol. 19 Issue 5, p767-772, 6p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rommel, Christian, Clarke, Brian A., Zimmermann, Sven, Nuñez, Lorna, Rossman, Roni, Reid, Kristina, Moelling, Karin, Yancopoulos, George D., Glass, David J.
Publikováno v:
Science, 1999 Nov . 286(5445), 1738-1741.
Externí odkaz:
https://www.jstor.org/stable/2900101