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Autor:
Zagorodniy, Kostyantyn
Die ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) sagt voraus, dass die fortlaufende Miniaturisierung der Transistoren und Verdrahtungen auch neue Isolationsmaterialien mit äußerst niedrigen (ultralow) Dielektrizitätskonstanten k erfo
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https://tud.qucosa.de/api/qucosa%3A25165/attachment/ATT-0/
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Autor:
Zagorodniy, Kostyantyn1, Chumakov, Dmytro2 dmytro.chumakov@amd.com, Täschner, Christine1, Lukowiak, Anna3, Stegmann, Heiko4, Schmeisser, Dieter5, Geisler, Holm2, Engelmann, Hans-Juergen2, Hermann, Helmut1, Zschech, Ehrenfried2
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. Nov2008, Vol. 21 Issue 4, p646-660. 15p. 3 Charts, 11 Graphs.