Zobrazeno 1 - 10
of 28
pro vyhledávání: '"Z. El-Mekki"'
Autor:
V. Vega-Gonzalez, J. Bekaert, E. Kesters, Q. T. Le, C. Lorant, O. Varela P., L. Teugels, N. Heylen, Z. El-Mekki, M. van der Veen, T. Webers, C. J. Wilson, H. Vats, L. Rynders, M. Cupak, J. Uk-Lee, Y. Drissi, L. Halipre, A.-L. Charley, P. Verdonck, T. Witters, S. V. Gompel, B. Briggs, Y. Kimura, N. Jourdan, I. Ciofi, A. Gupta, A. Contino, G. Boccardi, S. Lariviere, L. Dupas, B. De-Wachter, E. Vancoille, S. Decoster, F. Lazzarino, M Ercken, P. Debacker, R. Kim, D. Trivkovic, K. Croes, P. Leray, L. Dillemans, Y.-F. Chen, Z. Tokei, J. Versluijs, A. Lesniewska, S. Paolillo, R. Baert, H. Puliyalil
Publikováno v:
2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM).
The integration of a three-layer BEOL process which includes an intermediate 21 nm pitch level, relevant for the 3 nm technology node, is demonstrated. A full barrier-less Ruthenium (Ru) dual-damascene (DD) metallization allowed to test different dim
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7eecb12b8a386042eac7e3255fe54876
https://doi.org/10.1109/iedm19573.2019.8993538
https://doi.org/10.1109/iedm19573.2019.8993538
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.