Characterization of 1- and 2-μm-wavelength laser-produced microdroplet-tin plasma for generating extreme-ultraviolet light

Autor: R. Schupp, L. Behnke, J. Sheil, Z. Bouza, M. Bayraktar, W. Ubachs, R. Hoekstra, O. O. Versolato

Publikováno v: Physical Review Research, Vol 3, Iss 1, p 013294 (2021)

Experimental spectroscopic studies are presented, in a 5.5–25.5 nm extreme-ultraviolet (EUV) wavelength range, of the light emitted from plasma produced by the irradiation of tin microdroplets by 5-ns-pulsed, 2-μm-wavelength laser light. Emission

Externí odkaz: https://doaj.org/article/68ecc136d37a433d8a6e988b0a935c49

The spectrum of a 1- μ m-wavelength-driven tin microdroplet laser-produced plasma source in the 5.5-265.5 nm wavelength range

Autor: Z. Bouza, J. Byers, J. Scheers, R. Schupp, Y. Mostafa, L. Behnke, Z. Mazzotta, J. Sheil, W. Ubachs, R. Hoekstra, M. Bayraktar, O. O. Versolato

Publikováno v: AIP Advances, 11(12):125003, 1-8. American Institute of Physics
Bouza, Z, Byers, J, Scheers, J, Schupp, R, Mostafa, Y, Behnke, L, Mazzotta, Z, Sheil, J, Ubachs, W, Hoekstra, R, Bayraktar, M & Versolato, O O 2021, ' The spectrum of a 1-μ m-wavelength-driven tin microdroplet laser-produced plasma source in the 5.5-265.5 nm wavelength range ', AIP Advances, vol. 11, no. 12, 125003, pp. 1-8 . https://doi.org/10.1063/5.0073839
AIP advances, 11(12):125003. American Institute of Physics
AIP Advances, Vol 11, Iss 12, Pp 125003-125003-8 (2021)
AIP Advances, 11(12):125003. ROYAL SOC CHEMISTRY

We present a calibrated spectrum in the 5.5-265.5 nm range from a microdroplet-tin Nd:YAG-laser-produced plasma under conditions relevant for the production of extreme ultraviolet (EUV) light at 13.5 nm for nanolithography. The plasma emission spectr

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::1c87fdb6b34a4e4050155bf6c0b63a8f
https://research.rug.nl/en/publications/665d211c-fb93-4215-9991-9b6edffed028

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.