Výsledky vyhledávání - "Yozaburo Sakaki"

Waveguide-mode interference lithography technique for high contrast subwavelength structures in the visible region

Autor: Yozaburo Sakaki, Seigo Ohno, Kanta Kusaka, Hiroyuki Kurosawa, Kazuyuki Nakayama, Teruya Ishihara, Yuto Moritake

Publikováno v: Optics express. 22(15)

We explore possibilities of waveguide-mode interference lithography (WMIL) technique for high contrast subwavelength structures in the visible region. Selecting an appropriate waveguide-mode, we demonstrate high contrast resist mask patterns for the

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3b37e6e3c4e700d07b9e3ec164115c9a
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/25089492

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání