Zobrazeno 1 - 10 of 28 pro vyhledávání: '"Yedur, Sanjay"'
1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
4
Conference
Scatterometry on pelliclized masks: an option for wafer fabs.
Autor: Gallagher, Emily, Benson, Craig, Higuchi, Masaru, Okumoto, Yasuhiro, Kwon, Michael, Yedur, Sanjay, Li, Shifang, Lee, Sangbong, Tabet, Milad
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65181T-65181T-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
6
Conference
CD-etch depth measurement from advanced phase-shift masks and wafers using optical scatterometry.
Autor: Lee, Kyung M., Yedur, Sanjay, Henrichs, Sven, Tavassoli, Malahat
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61521P-61521P-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
7
Conference
CD and profile metrology of embedded phase shift masks using scatterometry.
Autor: Lee, Kyung man, Yedur, Sanjay, Hetzer, Dave, Tavassoli, Malahat, Baik, Kiho
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p62810Z-62810Z-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
9
Conference
CD and profile metrology of EUV masks using scatterometry based optical digital profilometry.
Autor: Cho, Sung-yong, Yedur, Sanjay, Kwon, Michael, Tabet, Milad
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p63492I-63492I-9, 9p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje