Zobrazeno 1 - 10
of 83
pro vyhledávání: '"Yanagihara, Mihiro"'
Publikováno v:
In Optics Communications 15 December 2017 405:312-317
Autor:
WATANABE, Makoto, HATANO, Tadashi, SAITO, Katsuhiko, HU, Weibing, EJIMA, Takeo, TSURU, Toshihide, TAKAHASHI, Masahiko, KIMURA, Hiroaki, HIRONO, Toko, WANG, Zhangshan, CUI, Mingqi, YAMAMOTO, Masaki, YANAGIHARA, Mihiro
Publikováno v:
In Nuclear Science and Techniques 2008 19(4):193-203
For at-wavelength observation of a lithography mask, recently, we proposed an EUV microscope consisting of multilayer-mirror objective (operating wavelength: 13.5 nm, numerical aperture: 0.25). To provide diffraction-limited spatial resolution below
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::14b6c7123b281940ed29740e9d4d1d7a
Publikováno v:
In Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 1999 101:869-873
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings; 6/24/2010, Vol. 1234 Issue 1, p811-814, 4p, 1 Diagram, 1 Chart, 4 Graphs
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p237-244, 8p
Autor:
Koike, Masato, Namioka, Takeshi, Gullikson, Eric M., Harada, Yoshihisa, Ishikawa, Sadayuki, Imazono, Takashi, Mrowka, Stanley, Miyata, Noboru, Yanagihara, Mihiro, Underwood, James H., Sano, Kazuo, Ogiwara, Tokuo, Yoda, Osamu, Nagai, Shiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000, Issue 1, p163-170, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1996, Issue 1, p70-73, 4p