Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Ya Chernyshenko, V."'
Autor:
Baron, D. I., Ya Chernyshenko, V., Korovin, V. B., Kramskoy, E. D., Sergiy Maznichenko, Shtan, A. F., Solodovchenko, S. I.
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the fr
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::78b03f6cd11a5b60693382c5d449ea97
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109253
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109253
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.