Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Y. Kudrjavtsev"'
Autor:
Rene Asomoza, Andrey Kosarev, A. Ilinskii, Y. Kudrjavtsev, L. Sanchez, Alfonso Torres, T E Felter
Publikováno v:
MRS Proceedings. 910
We report on a systematical study of growth rate, surface morphology, hydrogen and oxygen incorporation, optical and electrical properties in Ge:H and GeYSi1-Y:H, Y> 0.85 films, deposited in a capacitive reactor by low frequency PE CVD. Silane and ge
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.