Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Wutzler, René"'
Autor:
Wutzler, René
The progress in device performance of modern microelectronic technology is mainly driven by down-scaling. In the near future, this road will probably reach a point where physical limits make even more down-scaling impossible. The substitution of sing
Externí odkaz:
https://tud.qucosa.de/id/qucosa%3A30680
https://tud.qucosa.de/api/qucosa%3A30680/attachment/ATT-0/
https://tud.qucosa.de/api/qucosa%3A30680/attachment/ATT-0/
Publikováno v:
Vakuum in Forschung und Praxis; Apr2024, Vol. 36 Issue 2, p24-28, 5p
Autor:
Wutzler, Rene, Rebohle, Lars, Prucnal, Slawomir, Hübner, René, Facsko, Stefan, Böttger, Roman, Helm, Manfred, Skorupa, Wolfgang
Publikováno v:
In Materials Science in Semiconductor Processing February 2016 42 Part 2:166-169
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rebohle, Lars, Wutzler, René, Prucnal, Slawomir, Hübner, René, Georgiev, Yordan M., Erbe, Artur, Böttger, Roman, Glaser, Markus, Lugstein, Alois, Helm, Manfred, Skorupa, Wolfgang
Publikováno v:
Physica Status Solidi (C); Dec2017, Vol. 14 Issue 12, pn/a-N.PAG, 5p