Zobrazeno 1 - 8 of 8 pro vyhledávání: '"Westerheim, A. C."'
1
Akademický článek
Substrate temperature measurements using ultrasonically bonded Platinel II thermocouples.
Autor: Westerheim, A. C., Anderson, Alfredo C., Cima, M. J.
Publikováno v: Review of Scientific Instruments; Apr92, Vol. 63 Issue 4, p2282, 6p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
High-density, inductively coupled plasma etch of sub half-micron critical layers: Transistor polysilicon gate definition and contact formation.
Autor: Westerheim, A. C., Jones, R. D., Mager, P. J., Dubash, J. H., Dalton, T. J., Goss, M. W., Baum, S. K., Dass, S. K.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1998, Vol. 16 Issue 5, p2699-2706, 8p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Integration of chemical vapor deposition titanium nitride for 0.25 μm contacts and vias.
Autor: Westerheim, A. C., Bulger, J. M., Whelan, C. S., Sriram, T. S., Elliott, L. J., Maziarz, J. J.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1998, Vol. 16 Issue 5, p2729-2733, 5p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Substrate bias effects in high-aspect-ratio SiO2 contact etching using an inductively coupled plasma reactor.
Autor: Westerheim, A. C., Labun, A. H., Dubash, J. H., Arnold, J. C., Sawin, H. H., Yu-Wang, V.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1995, Vol. 13 Issue 3, p853-858, 6p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
In situ substrate temperature measurement in high-Tc superconducting film deposition.
Autor: Choi, B. I., Anderson, Alfredo C., Westerheim, A. C., Flik, M. I.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1993, Vol. 11 Issue 6, p3020-3025, 6p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Radiative substrate heating for high-Tc superconducting thin-film deposition: Film-growth-induced temperature variation.
Autor: Westerheim, A. C., Choi, B. I., Flik, M. I., Cima, M. J., Slattery, R. L., Anderson, Alfredo C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1992, Vol. 10 Issue 6, p3407-3410, 4p
Zobrazit plný text záznamu
7
Periodical
Thermal Analysis and Control for Sputtering Deposition of High-Tc Superconducting Films
Autor: Flik, M. I., Choi, B. I., Anderson, A. C., Westerheim, A. C.
Publikováno v: Journal of Heat Transfer; February 1992, Vol. 114 Issue: 1 p255-263, 9p
Zobrazit plný text záznamu
8
Periodical
Microstructural dependence of sputtered YBa~2Cu~3O~7~-~x thin films on deposition parameters
Autor: Bhatt, D., Basu, S. N., Westerheim, A. C., Anderson, A. C.
Publikováno v: Physica C: Superconductivity and its Applications; 1994, Vol. 222 Issue: 3 p283-283, 1p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje