Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Watso, Robert"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Correlation of EUV resist performance metrics in micro-exposure and full-field EUV projection tools.
Autor:
Wallow, Thomas I., Pierson, Bill, Mizuno, Hiroyuki, Fumar-Pici, Anita, Petrillo, Karen, Anderson, Chris N., Naulleau, Patrick P., Hansen, Steven G., Deng, Yunfei, van Ingen Schenau, Koen, Koay, Chiew-Seng, Ohara, Linda, Han, Sang-In, Watso, Robert, Huli, Lior, Burkhardt, Martin, Wood, Obert, Mallmann, Joerg, Kessels, Bart, Routh, Robert
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72733T-72733T-11, 11p
Autor:
Cummings, Kevin D., Laursen, Thomas, Pierson, Bill, Han, Sang-in, Watso, Robert, van Dommelen, Youri, Lee, Brian, Deng, Yunfei, La Fontaine, Bruno, Wallow, Thomas, Okoroanyanwu, Uzo, Wood, Obert, Tchikoulaeva, Anna, Holfeld, Christian, Peters, Jan Hendrick, Koay, Chiew-seng, Petrillo, Karen, DiBiase, Tony, Kini, Sumanth, Mizuno, Hiroyuki
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p71222G-71222G-13, 13p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65204V-65204V-9, 9p
Autor:
Brandl, Stefan, Watso, Robert, Pierson, Bill, Holmes, Steve, Wei, Yayi, Petrillo, Karen, Cummings, Kevin, Goodwin, Frank
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61540T-61540T-9, 9p
Autor:
Wells, Greg, Hermans, Jan, Watso, Robert, Kang, Young-Seog, Morton, Robert, Kocsis, Michael K., Okoroanyanwu, Uzodinma, De Bisschop, Peter, Stepanenko, Nickolay, Ronse, Kurt G.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p91-98, 8p