Výsledky vyhledávání - "Wadhawan, O. P."

Akademický článek

Resist debris formation and proximity exposure effect in electron beam lithography.

Autor: Deshmukh, P. R., Rangra, K. J., Wadhawan, O. P.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 2, p873-876, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Periodical

The filling of via-holes by a sputtered AlSi alloy and the development of a two-level metallisation structure

Autor: Nahar, R. K., Devashrayee, N. M., Wadhawan, O. P., Vyas, P. D.

Publikováno v: Microelectronics Reliability; 1993, Vol. 33 Issue: 2 p143-143, 1p

Zobrazit plný text záznamu