Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"W.L.M. Weerts"'
Publikováno v:
Journal of the Electrochemical Society, 145(4), 1318-1330. Electrochemical Society, Inc.
The kinetics of the deposition of polycrystalline silicon from silane were studied at 25–125 Pa and 863–963 K using a continuous flow perfectly mixed reactor equipped with a microbalance and a quadrupole mass spectrometer for in situ deposition r
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::eeb42f02fc3ab22f8576ac999b3023c2
https://doi.org/10.1149/1.1838458
https://doi.org/10.1149/1.1838458
Publikováno v:
Journal of the Electrochemical Society, 144(9), 3213-3221. Electrochemical Society, Inc.
The performance of an industrial-scale low-pressure chemical vapor deposition reactor is simulated for the deposition of undoped polycrystalline silicon from silane at 25 Pa and 900 K using a one-dimensional, two-zone model with independently obtaine
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0ad5acb2ea8acd609c7f6a6c716e3a3a
https://doi.org/10.1149/1.1837986
https://doi.org/10.1149/1.1837986
Publikováno v:
Chemical Engineering Science. 51:2109-2118
The layer thickness of polycrystalline silicon grown in a commercial LPCVD reactor at 25–50 and 850–950 K is accurately simulated with a one-dimensional two-zone model without adjusting any model parameter and applying independently determined re
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::933c6d6a92ffda9e3378c4bfe33efc5d
https://doi.org/10.1016/0009-2509(96)00068-1
https://doi.org/10.1016/0009-2509(96)00068-1
Publikováno v:
Surface Science, 367(3), 321-339. Elsevier
The adsorption of silane, disilane and trisilane on polycrystalline silicon was investigated using temporal analysis of products (TAP) following on admission of a reactant pulse in the temperature range 300–1000 K and at pressures typical for low-p
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2a3d02e9b6090f9b961e730a2af3dffb
https://research.tue.nl/nl/publications/e49bf79f-3fce-4c03-b33a-9c413b3c6f92
https://research.tue.nl/nl/publications/e49bf79f-3fce-4c03-b33a-9c413b3c6f92
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.