Zobrazeno 1 - 10
of 45
pro vyhledávání: '"W.J. Varhue"'
Publikováno v:
IEEE Transactions on Plasma Science. 29:417-423
Ion current density measurements were made in an electron cyclotron resonance (ECR) plasma reactor for both argon and oxygen discharges. Spatial changes in the ion current density were also recorded across the reactor diameter for changes in pressure
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e7a8fd57008c0c55266ee396c279a09d
https://doi.org/10.1109/27.928938
https://doi.org/10.1109/27.928938
Publikováno v:
Thin Solid Films. 220:55-58
Electron cyclotron resonance has been used for a variety of plasma processes. The technique requires a dielectric window through which microwave power is delivered to the discharge. The choice of dielectric material is critical because it can impact
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::324ada8c6de1126ff1f3beb51edb7ee6
https://doi.org/10.1016/0040-6090(92)90548-p
https://doi.org/10.1016/0040-6090(92)90548-p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
H. Chao, W.J. Varhue
Publikováno v:
Thin Solid Films. 169:179-186
Thin films of a-Si:H were prepared by the r.f. glow discharge of SiH 4 H 2 mixtures. The electron drift mobility was determined as a function of hydrogen dilution. This mobility was determined by the steady state photoconductivity and photocurrent
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e4405feb081476e0f512af5d6d1b4232
https://doi.org/10.1016/0040-6090(89)90699-8
https://doi.org/10.1016/0040-6090(89)90699-8
Publikováno v:
Proceedings, annual meeting, Electron Microscopy Society of America. 47:82-83
The advent of scanning electron microscopes (SEMs) with reliable, high performance field emission guns (FEG) has afforded many opportunities to obtain new information at low voltages not available at higher voltages in traditional SEMs equipped with
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f3d44e4f3a2d8bcb6d02fb5d2a3f3b28
https://doi.org/10.1017/s0424820100152380
https://doi.org/10.1017/s0424820100152380
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.