Zobrazeno 1 - 10
of 39
pro vyhledávání: '"W.H. Brünger"'
For repairing clear defects on lithography masks of the open stencil type, physical holes have to be filled with absorber material. The deposition, therefore, has to start on an existing structure, followed by a lateral growth into the open gap. For
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::644ea2d0f93dcc0962aa6485a4f07898
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/181938
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/181938
The deposition of tungsten by decomposing a W(CO) sub 6 precursor gas under a focussed electron beam is a promising technique for X-ray mask repair. A lateral resolution of 0,2 mym and a dot growth rate of 16 nm/s had been demonstrated in a simple ex
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::795afbf51d6c24f6b95eb14e49b622e6
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/179842
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/179842
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.