Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"W.E. Crowcombe"'
Autor:
Gert Witvoet, R. den Breeje, Rudolf Saathof, C.W. Korevaar, W.E. Crowcombe, N. van der Heiden, M. Dresscher, Erik Fritz, H. de Man, Stefan Kuiper, N. C. J. van der Valk, Niek Doelman, Jet Human, C. M. Duque, T.J. de Lange
Publikováno v:
IEEE International Conference on Space Optical Systems and Applications, ICSOS 2019, 14-16 October 2019, Portland, OR, USA
The anticipated capacity benefit of optical satellite communications has triggered a cascade of technology developments. In this paper, we present three such technologies, namely; i). A cube satellite laser terminal (CubeCAT), ii). A lower Earth orbi
Autor:
T.C. van den Dool, Norbert B. Koster, Jasper Winters, W.E. Crowcombe, Hamed Sadeghian, R.W. Herfst, Geerten Frans Ijsbrand Kramer
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII.
With the device dimensions moving towards the 1X node, the semiconductor industry is rapidly approaching the point where 10 nm defects become critical. Therefore, new methods for improving the yield are emerging, including inspection and review metho
Autor:
Geerten Frans Ijsbrand Kramer, W.E. Crowcombe, R.W. Herfst, Hamed Sadeghian, Jasper Winters, T.C. van den Dool
Publikováno v:
Proceedings of SPIE 9231: 30th European Mask and Lithography Conference, Dresden, Germany, 24-25 June 2014
Cain, J.P.Sanchez, M.I., 30th European Mask and Lithography Conference, 24 June 2014, Dresden, Germany, 9031
Cain, J.P.Sanchez, M.I., 30th European Mask and Lithography Conference, 24 June 2014, Dresden, Germany, 9031
Scanning probe microscopy (SPM) is a promising candidate for accurate assessment of metrology and defects on wafers and masks, however it has traditionally been too slow for high-throughput applications, although recent developments have significantl
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::804f2364f97f69ab78b8b983a665c74d
http://resolver.tudelft.nl/uuid:b840cc65-940b-4dcd-818d-921934274250
http://resolver.tudelft.nl/uuid:b840cc65-940b-4dcd-818d-921934274250
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.