Zobrazeno 1 - 10
of 46
pro vyhledávání: '"W.A. McGahan"'
Publikováno v:
IEEE/SEMI 1996 Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop. Theme-Innovative Approaches to Growth in the Semiconductor Industry. ASMC 96 Proceedings.
In this work we demonstrate the combined use of spectroscopic ellipsometry (performed from 420-720 nm at 65/spl deg/ angle of incidence) and spectroscopic reflectometry (performed from 200-800 nm at normal incidence) for the characterization of thin
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::317c71ba17c1d93d36f209c6f2535cb1
https://doi.org/10.1109/asmc.1996.558081
https://doi.org/10.1109/asmc.1996.558081
Publikováno v:
Digest of Papers. Microprocesses and Nanotechnology 2001. 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (IEEE Cat. No.01EX468).
Summary form only given. A new microscope-based spectrometric instrument has been designed for measuring the critical dimensions of dense line and space targets on patterned silicon wafers. The repeating structure of the target behaves as a one dimen
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::cb1cc2941b546e6986aef4cb482abd56
https://doi.org/10.1109/imnc.2001.984178
https://doi.org/10.1109/imnc.2001.984178
Publikováno v:
IEEE Transactions on Magnetics. 26:1346-1348
A procedure involving normal-angle-of-incidence Kerr spectroscopy, variable-angle-of-incidence spectroscopic ellipsometry, and variable-angle-of-incidence spectroscopic magnetooptic ellipsometry has been developed. It makes it possible to extract lay
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::af62986428b28d612d4d4f41ff482193
https://doi.org/10.1109/20.104370
https://doi.org/10.1109/20.104370
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.