Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"W. Tjhen"'
Publikováno v:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control. 41:552-555
Surface-micromachining techniques have been used in the fabrication of a 64/spl times/64 element PbTiO/sub 3/ pyroelectric infrared imager. Polysilicon microbridges of 1.2 /spl mu/m-thickness have been formed 0.8 /spl mu/m above the surface of a sili
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8312e0a0c510735f571f8cb748e63c39
https://doi.org/10.1109/58.294117
https://doi.org/10.1109/58.294117
Publikováno v:
Journal of Micromechanics and Microengineering. 1:247-252
Three types of microactuator for linear displacement are presented which use piezoelectric thin films for the electrical-to-mechanical energy conversion process. One actuator uses a folded-path or meander-line geometry to produce horizontal tethered
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::82d6579e59e77d36f7a407ce56f2ab0a
https://doi.org/10.1088/0960-1317/1/4/006
https://doi.org/10.1088/0960-1317/1/4/006
Publikováno v:
[1991] Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems.
Zinc oxide and ferroelectrics of the lead zirconate titanate (PZT) family are candidates for piezoelectric actuation as well as sensing elements in microelectromechanical systems. In this work the relevant properties of the thin film forms of these m
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4a34f1957ce77fa8851e5ec467063904
https://doi.org/10.1109/memsys.1991.114780
https://doi.org/10.1109/memsys.1991.114780
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.