Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"W. Jayatissa"'
Publikováno v:
Current Applied Physics. 4:111-114
Multilevel and three-dimensional (3D) patterning eliminates more complicated steps in the fabrication processes of micro and nanoscale structures. Multiple lithography processes with inter-level alignment or single lithography with multi layer resist
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::376e6d5c213598f56a5adc835d150378
https://doi.org/10.1016/j.cap.2003.10.009
https://doi.org/10.1016/j.cap.2003.10.009
Publikováno v:
2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2002. Digest of Papers..
Three-dimensional patterning reduces more complicated alignment steps in the fabrication of micro and nano-scale structures. Multiple lithography processes with interlevel alignment or single lithography with multi layer resist is essential for three
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c3de558b001a899b7851f7a2ee800188
https://doi.org/10.1109/imnc.2002.1178594
https://doi.org/10.1109/imnc.2002.1178594
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.