Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"W. Ehrensperger"'
Autor:
M.v. Schickfuss, H. Ulrich, C. Rensch, Norbert Koop, R. W. Wijnaendts-van-Resandt, W. Ehrensperger
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 9:69-72
The prototype design, progress of realisation and the first results of a laser scanning micro structure writer are discussed. The system is based on a Helium Cadmium laser, high speed polygon scanning, precision positioning and modern data processing
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9b34302cc96619db477ba5c24c69b193
https://doi.org/10.1016/0167-9317(89)90015-4
https://doi.org/10.1016/0167-9317(89)90015-4
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 6:77-84
The possibilities for a direct write on wafer laser lithographic tool are discussed. The requirements for such a system are fast writing, using standard photoresists, of submicron structures. In order to be able to complete a system design, a number
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eb1d04e13ec74b83ca251c60c76c2f3f
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90019-0
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90019-0
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.